ᱜᱞᱚᱵᱽᱵᱚᱠᱥ

ᱥᱮᱵᱟ ᱚᱵᱷᱟᱨᱵᱷᱤᱭᱩ

ᱠᱨᱤᱴᱤᱠᱟᱞ ᱵᱮᱴᱟᱨᱤ R&D ᱟᱨ ᱯᱟᱭᱞᱚᱴ ᱯᱨᱚᱰᱟᱠᱥᱚᱱ ᱞᱟᱹᱜᱤᱫ ᱰᱤᱡᱟᱭᱤᱱ ᱟᱠᱟᱱ, ᱱᱚᱶᱟ ᱰᱩᱭᱟᱞ-ᱥᱴᱮᱥᱚᱱ ᱜᱞᱚᱵᱽᱵᱚᱠᱥ ᱫᱚ ᱢᱤᱫ ᱥᱟᱢᱵᱷᱟᱣ ᱥᱤᱥᱴᱚᱢ ᱵᱷᱤᱛᱨᱤ ᱨᱮ ᱵᱟᱨ ᱯᱷᱩᱨᱜᱟᱹᱞ ᱠᱚᱱᱴᱨᱚᱞ ᱮᱴᱚᱯᱷᱤᱭᱟᱨ (O2/H2O < 1 ppm) ᱮᱢᱚᱜ ᱠᱟᱱᱟ᱾ ᱱᱚᱣᱟ ᱫᱚ ᱢᱤᱫ ᱚᱠᱛᱚ ᱨᱮ ᱯᱷᱟᱨᱪᱟ ᱠᱟᱛᱮ ᱱᱚᱨᱚᱢ - ᱥᱮᱱᱥᱮᱴᱤᱵᱷ ᱡᱤᱱᱤᱥ - ᱡᱮᱞᱠᱟ ᱮᱱᱚᱰ ᱟᱨ ᱠᱮᱛᱷᱚᱰ ᱤᱞᱮᱠᱴᱨᱚᱰ ᱮᱥᱮᱢᱵᱷᱞᱤ - ᱠᱨᱚᱥ - ᱵᱷᱚᱫᱽᱨᱚᱝ ᱵᱚᱱᱫᱚ ᱛᱩᱞᱩᱡ ᱮ ᱥᱟᱢᱵᱽᱲᱟᱣᱟ᱾ ᱵᱟᱨᱱᱟᱜ ᱩᱪᱟᱹᱲ ᱪᱮᱢᱵᱚᱨ, ᱛᱷᱤᱨ ᱣᱮᱠᱭᱩᱢ ᱯᱟᱨᱡᱽ ᱥᱟᱭᱠᱟᱞ, ᱟᱨ ᱥᱩᱦᱤ ᱜᱮᱥ ᱯᱟᱨᱡᱽ ᱥᱟᱶᱛᱮ ᱥᱟᱡᱟᱣ, ᱱᱚᱣᱟ ᱫᱚ ᱤᱞᱮᱠᱴᱨᱚᱰ ᱥᱴᱮᱠᱤᱝ, ᱤᱞᱮᱠᱴᱨᱚᱞᱟᱭᱤᱴ ᱯᱷᱤᱞᱤᱝ, ᱟᱨ ᱥᱮᱞ ᱥᱤᱞᱤᱝ ᱞᱮᱠᱟᱱ ᱠᱟᱹᱢᱤ ᱠᱚ ᱞᱟᱹᱜᱤᱫ ᱠᱟᱴᱴᱟᱨ ᱩᱫᱽᱜᱟᱹᱣ/ᱚᱠᱥᱤᱡᱮᱱ ᱠᱚᱱᱴᱨᱚᱞ ᱮ ᱥᱟᱹᱠᱷᱤᱭᱟᱹᱛ ᱮᱫᱟ᱾ ᱴᱨᱟᱱᱥᱯᱟᱨᱮᱱᱴ ᱯᱟᱨᱴᱤᱥᱚᱱ ᱫᱚ ᱚᱯᱟᱨᱮᱴ ᱠᱚ ᱥᱴᱮᱥᱚᱱ ᱠᱚ ᱛᱟᱞᱟ ᱨᱮ ᱠᱟᱹᱢᱤ ᱯᱷᱞᱳ ᱠᱚ ᱥᱚᱢᱵᱷᱚᱵᱚᱱ ᱞᱟᱹᱜᱤᱫ ᱮ ᱫᱟᱣ ᱮᱢᱟᱠᱚᱣᱟ, ᱞᱤᱛᱷᱤᱭᱚᱢ ᱢᱮᱴᱟᱞ ᱥᱮ ᱠᱮᱴᱮᱡ-ᱥᱴᱮᱴ ᱵᱮᱴᱟᱨᱤ ᱯᱨᱚᱴᱚᱴᱟᱭᱤᱯᱤᱝ ᱞᱟᱹᱜᱤᱫ ᱫᱟᱲᱮ ᱠᱚ ᱚᱯᱴᱤᱢᱟᱭᱮᱫᱟ᱾

ᱴᱮᱠᱱᱤᱠᱟᱞ ᱥᱯᱮᱥᱤᱯᱷᱤᱠᱮᱥᱚᱱ

᱑) ᱜᱞᱚᱵᱽ ᱵᱟᱠᱚᱥ

᱒) ᱢᱟᱨᱟᱝ ᱮᱱᱴᱮᱪᱮᱢᱵᱚᱨ

• ᱩᱪᱟᱹᱲ ᱠᱮᱵᱤᱱ

ᱰᱟᱭᱢᱮᱱᱥᱚᱱᱥ: ᱰᱟᱭᱢᱤᱴᱟᱨ ᱓᱖᱐mm, ᱡᱮᱞᱮᱝ ᱖᱐᱐mm ᱡᱤᱱᱤᱥ:
᱓᱐᱔ ᱥᱴᱮᱱᱞᱮᱥ ᱥᱴᱤᱞ ᱥᱚᱨᱯᱷᱮᱥ:
ᱵᱷᱤᱛᱨᱤ ᱯᱟᱦᱴᱟ ᱫᱚ ᱵᱽᱨᱟᱥ ᱟᱠᱟᱱᱟ, ᱟᱨ ᱵᱟᱦᱨᱮ ᱯᱟᱦᱴᱟ ᱫᱚ ᱨᱚᱝ ᱟᱠᱟᱱᱟ (ᱯᱩᱸᱰ)

• ᱮᱥᱮᱥᱚᱨᱤᱡᱽ

ᱥᱞᱟᱭᱰᱤᱝ ᱴᱨᱮ: ᱓᱐᱔ ᱥᱴᱮᱱᱞᱮᱥ ᱥᱴᱤᱞ ᱠᱮᱵᱤᱱ ᱫᱩᱣᱟᱹᱨ: ᱵᱟᱨ ᱫᱩᱣᱟᱹᱨ, ᱮᱞᱩᱢᱤᱱᱟᱢ ᱮᱞᱚᱭ ᱡᱤᱱᱤᱥ,
ᱢᱚᱴᱟ ᱑᱐mm, ᱩᱞᱴᱟᱹ ᱚᱯᱟᱨᱮᱥᱚᱱ, ᱩᱛᱩ ᱛᱚᱦᱚᱨ ᱥᱟᱶᱛᱮ
ᱯᱨᱮᱥᱚᱨ ᱜᱮᱡᱽ: ᱮᱱᱟᱞᱚᱜᱽ ᱰᱤᱥᱯᱞᱮ

• ᱥᱚᱞᱮᱱᱳᱭᱮᱰ ᱵᱷᱟᱞᱵᱷ ᱠᱚᱱᱴᱨᱚᱞ ᱢᱮ

ᱴᱟᱪ ᱥᱠᱨᱤᱱ ᱟᱡ ᱛᱮ ᱪᱟᱞᱟᱜ ᱚᱯᱟᱨᱮᱥᱚᱱ

᱓) ᱠᱟᱹᱴᱤᱡ ᱮᱱᱴᱮᱪᱮᱢᱵᱚᱨ

• ᱩᱪᱟᱹᱲ ᱠᱮᱵᱤᱱ

ᱥᱟᱭᱤᱡᱽ ᱫᱚ ᱑᱕᱐mm ᱰᱟᱭᱢᱤᱴᱟᱨ, ᱓᱐᱐mm ᱡᱮᱞᱮᱝ, ᱟᱨ ᱵᱟᱠᱥᱟ ᱨᱮ ᱵᱚᱞᱚᱱ ᱦᱟᱹᱴᱤᱧ ᱨᱮᱭᱟᱜ ᱡᱮᱞᱮᱝ ᱫᱚ ᱑᱐᱐mm
ᱡᱤᱱᱤᱥ: ᱓᱐᱔ ᱥᱴᱮᱱᱞᱮᱥ ᱥᱴᱤᱞ
ᱯᱟᱦᱴᱟ: ᱵᱷᱤᱛᱨᱤ ᱯᱟᱦᱴᱟ ᱫᱚ ᱵᱽᱨᱟᱥ ᱟᱠᱟᱱᱟ, ᱟᱨ ᱵᱟᱦᱨᱮ ᱯᱟᱦᱴᱟ ᱫᱚ ᱨᱚᱝ ᱟᱠᱟᱱᱟ (ᱯᱩᱸᱰ)

• ᱮᱥᱮᱥᱚᱨᱤᱡᱽ

ᱠᱮᱵᱤᱱ ᱫᱩᱣᱟᱹᱨ: ᱞᱟᱲᱟᱣᱟᱱᱟᱜ ᱥᱞᱟᱭᱰᱤᱝ ᱯᱞᱮᱴ ᱥᱟᱶᱛᱮ ᱵᱟᱨ ᱫᱩᱣᱟᱹᱨ, ᱫᱟᱵᱟᱣ ᱢᱮ - ᱵᱩᱛᱟᱹᱢ ᱡᱷᱤᱡᱽ ᱨᱮᱭᱟᱜ ᱦᱚᱨᱟ ᱯᱨᱮᱥᱚᱨ ᱜᱮᱡᱽ: ᱮᱱᱟᱞᱚᱜᱽ ᱩᱱᱩᱫᱩᱜ

• ᱠᱚᱱᱴᱨᱚᱞ

ᱢᱮᱱᱩᱣᱟᱞ ᱵᱷᱟᱞᱵᱷ ᱢᱮᱱᱩᱣᱟᱞ ᱚᱯᱟᱨᱮᱥᱚᱱ

᱔) ᱜᱮᱥ ᱥᱟᱯᱷᱟᱭ ᱥᱟᱨᱠᱩᱞᱮᱥᱚᱱ ᱥᱤᱥᱴᱚᱢ

• ᱥᱟᱯᱷᱟ ᱠᱚᱞᱟᱢ

ᱠᱟᱹᱢᱤ: ᱦᱚᱭ ᱴᱟᱭᱤᱴ, ᱫᱟᱜ ᱚᱪᱚᱜᱽ ᱟᱨ ᱰᱤᱳᱠᱥᱤᱡᱮᱱᱮᱥᱚᱱ
ᱫᱟᱹᱵᱤ ᱡᱤᱱᱤᱥ: ᱓᱐᱔ ᱥᱴᱮᱱᱞᱮᱥ ᱥᱴᱤᱞ ᱥᱟᱯᱷᱟ ᱡᱤᱱᱤᱥ: ᱠᱚᱯᱟᱨ ᱠᱮᱴᱟᱞᱤᱥᱴ: ᱕ ᱠᱮᱡᱤ; ᱟᱱᱣᱤᱠ ᱪᱟᱞᱟ: ᱕ ᱠᱮᱡᱤ ᱥᱟᱯᱷᱟ ᱫᱟᱲᱮ:
ᱰᱤᱳᱠᱥᱤᱡᱮᱱᱮᱥᱚᱱ: ᱖᱐L; ᱰᱤᱣᱟᱴᱮᱨᱤᱝ: ᱒ᱠᱮᱜᱽ,
ᱫᱟᱜ ᱟᱨ ᱚᱠᱥᱤᱡᱮᱱ ᱤᱱᱰᱮᱠᱥ: ᱑ᱯᱤᱯᱤᱮᱢ ᱠᱷᱚᱱ ᱠᱚᱢ

• ᱥᱟᱨᱠᱩᱞᱮᱴᱚᱨᱤ ᱥᱤᱥᱴᱚᱢ ᱠᱟᱹᱢᱤ ᱜᱮᱥ: ᱱᱟᱭᱴᱨᱚᱡᱮᱱ, ᱟᱨᱜᱚᱱ ᱥᱟᱨᱠᱩᱞᱮᱥᱚᱱ ᱠᱮᱯᱟᱥᱤᱴᱤ: ᱤᱱᱴᱮᱜᱽᱨᱮᱴᱮᱰ ᱯᱷᱮᱱ ᱯᱷᱞᱳ ᱨᱮᱴ ᱙᱐m᱓/h
• ᱫᱚᱦᱲᱟ ᱡᱟᱱᱟᱢ ᱚᱯᱟᱨᱮᱥᱚᱱ: ᱯᱤ ᱮᱞ ᱥᱤ ᱟᱡ ᱛᱮ ᱫᱚᱦᱲᱟ ᱡᱟᱱᱟᱢ ᱦᱚᱨᱟ ᱠᱚᱵᱚᱡᱽ ᱮᱫᱟᱭ ᱫᱚᱦᱲᱟ ᱡᱟᱱᱟᱢ ᱜᱮᱥ: ᱠᱟᱹᱢᱤ ᱜᱮᱥ ᱟᱨ ᱦᱟᱭᱰᱨᱚᱡᱮᱱ ᱨᱮᱭᱟᱜ ᱢᱮᱥᱟ ᱜᱮᱥ, (ᱦᱟᱭᱰᱨᱚᱡᱮᱱ ᱕-᱑᱐%)
• ᱣᱮᱠᱭᱩᱢ ᱯᱟᱢᱯ ᱥᱯᱮᱥᱤᱯᱷᱤᱠᱮᱥᱚᱱᱺ ᱑᱒m᱓/ᱴᱟᱲᱟᱝ, ᱨᱚᱴᱟᱨᱤ ᱵᱷᱮᱱ ᱯᱟᱢᱯ, ᱥᱩᱱᱩᱢ ᱢᱤᱥᱴ ᱯᱷᱤᱞᱴᱟᱨ ᱥᱟᱶᱛᱮ, ᱦᱚᱭ ᱵᱷᱟᱭᱵᱽᱨᱮᱥᱚᱱ ᱠᱚᱱᱴᱨᱚᱞ
• ᱵᱷᱟᱞᱵᱷ ᱢᱩᱬ ᱵᱷᱟᱞᱵᱷ: ᱰᱤ ᱮᱱ ᱔᱐ ᱠᱮ ᱮᱯᱷ, ᱤᱞᱮᱠᱴᱨᱤᱠ ᱮᱝᱜᱽᱞ ᱵᱷᱟᱞᱵᱷ ᱠᱚᱱᱴᱨᱚᱞ ᱵᱷᱟᱞᱵᱷ: ᱥᱚᱞᱮᱱᱚᱭᱮᱰ ᱤᱱᱴᱮᱜᱽᱨᱮᱴᱮᱰ ᱵᱷᱟᱞᱵᱷ

᱕) ᱠᱚᱱᱴᱨᱚᱞ ᱥᱤᱥᱴᱚᱢ: ᱯᱷᱟᱱᱥᱚᱱ

• ᱯᱨᱮᱥᱚᱨ ᱠᱚᱱᱴᱨᱚᱞ: ᱠᱚᱱᱴᱨᱚᱞ ᱵᱟᱠᱥᱟ ᱟᱨ ᱴᱨᱟᱱᱡᱤᱥᱚᱱ ᱪᱮᱢᱵᱚᱨ ᱨᱮᱭᱟᱜ ᱠᱟᱹᱢᱤ ᱯᱨᱮᱥᱚᱨ ᱫᱚ +/- 10mbar ᱵᱷᱤᱛᱨᱤ ᱨᱮ ᱯᱷᱩᱨᱜᱟᱹᱞ ᱛᱮ ᱥᱮᱴ ᱫᱟᱲᱮᱭᱟᱜ-ᱟ, ᱟᱨ ᱥᱤᱥᱴᱚᱢ ᱫᱚ ᱟᱡ ᱛᱮ ᱨᱩᱠᱷᱤᱭᱟᱹ ᱫᱟᱲᱮᱭᱟᱜ-ᱟ ᱡᱩᱫᱤ ᱚᱱᱟ +/- 15mbar ᱠᱷᱚᱱ ᱵᱟᱹᱲᱛᱤ ᱦᱩᱭᱩᱜ-ᱟ;
• ᱟᱡ ᱛᱮ ᱯᱟᱢᱯᱤᱝ ᱟᱨ ᱪᱟᱨᱡᱤᱝ: ᱢᱟᱨᱟᱝ ᱩᱪᱟᱹᱲ ᱪᱮᱢᱵᱚᱨ ᱟᱡ ᱛᱮ ᱣᱮᱠᱭᱩᱢ ᱯᱟᱢᱯ ᱟᱨ ᱢᱤᱫ ᱵᱩᱛᱟᱢ ᱛᱮ ᱦᱚᱭ ᱫᱚᱦᱚᱭᱟᱭ ᱾
• ᱟᱡ ᱛᱮ ᱥᱟᱯᱷᱟ: ᱢᱤᱫ-ᱪᱟᱹᱵᱤ ᱟᱡ ᱛᱮ ᱵᱚᱫᱚᱞ ᱟᱨ ᱠᱮᱵᱤᱱᱮᱴ ᱨᱮᱭᱟᱜ ᱵᱷᱤᱛᱨᱤ ᱦᱚᱭ ᱦᱤᱥᱤᱫ ᱥᱟᱯᱷᱟ᱾
• ᱟᱡ ᱛᱮ ᱪᱟᱞᱟᱜ ᱮᱞᱟᱨᱢ: ᱫᱟᱜ ᱟᱨ ᱚᱠᱥᱤᱡᱮᱱ ᱮᱞᱟᱨᱢ ᱜᱚᱱᱚᱝ ᱥᱮᱴ ᱦᱩᱭ ᱫᱟᱲᱮᱭᱟᱜᱼᱟ, ᱛᱤᱱ ᱨᱮ ᱫᱟᱜ ᱚᱠᱥᱤᱡᱮᱱ ᱥᱮᱴ ᱜᱚᱱᱚᱝ ᱠᱷᱚᱱ ᱵᱟᱹᱲᱛᱤᱜᱼᱟ, ᱟᱡ ᱛᱮ ᱪᱟᱞᱟᱜ ᱮᱞᱟᱨᱢ ᱞᱟᱹᱭᱚᱜᱼᱟ ᱾
• ᱥᱤᱥᱴᱚᱢ ᱪᱮᱦᱟᱣᱱᱟ: ᱥᱤᱥᱴᱚᱢ ᱚᱯᱟᱨᱮᱥᱚᱱ ᱨᱮ ᱢᱤᱫ ᱦᱩᱰᱟᱹᱜ ᱦᱩᱭᱩᱜᱼᱟ, ᱟᱨ ᱢᱤᱫ ᱦᱩᱰᱟᱹᱜ ᱥᱟᱱᱫᱮᱥ ᱵᱟᱝᱠᱷᱟᱱ ᱪᱮᱦᱟᱣᱱᱟ ᱥᱟᱱᱫᱮᱥ ᱩᱫᱩᱜᱚᱜᱼᱟ᱾
• ᱞᱤᱠᱮᱡᱽ ᱫᱚᱨ ᱰᱤᱴᱮᱠᱥᱚᱱ: ᱚᱠᱥᱤᱡᱮᱱ- ᱛᱟᱦᱮᱱ ᱯᱚᱱᱛᱷᱟ ᱟᱨ ᱪᱷᱟᱯ ᱯᱚᱱᱛᱷᱟ ᱞᱤᱠᱮᱡᱽ ᱫᱚᱨ ᱰᱤᱴᱮᱠᱥᱚᱱ ᱯᱷᱟᱱᱥᱚᱱ ᱥᱟᱶᱛᱮ, ᱱᱚᱣᱟ ᱫᱚ ᱟᱡ ᱛᱮ ᱠᱮᱵᱤᱱᱮᱴ ᱨᱮᱭᱟᱜ ᱞᱤᱠᱮᱡᱽ ᱫᱚᱨ ᱰᱤᱴᱮᱠᱥᱚᱱ ᱫᱟᱲᱮᱭᱟᱜ-ᱟ ᱡᱮ ᱜᱷᱚᱴᱚᱠ ᱠᱷᱩᱛᱤ ᱵᱟᱝ ᱦᱩᱭᱩᱜ-ᱟ᱾
• ᱰᱟᱴᱟ ᱨᱮᱠᱚᱨᱰᱺ ᱥᱟᱯᱟᱵ ᱠᱚ ᱪᱟᱞᱟᱣ ᱨᱮᱭᱟᱜ ᱫᱟᱜ ᱟᱨ ᱚᱠᱥᱤᱡᱮᱱ ᱨᱮᱠᱚᱨᱰ ᱟᱡ ᱛᱮ ᱟᱡ ᱛᱮ ᱨᱮᱠᱚᱨᱰ ᱢᱮ ᱟᱨ ᱱᱟᱜᱟᱢᱤᱭᱟᱹ ᱰᱟᱴᱟ ᱩᱫᱩᱜ ᱢᱮ
• ᱵᱟᱠᱥᱟ ᱨᱩᱠᱷᱤᱭᱟᱹ: ᱵᱟᱠᱥᱟ ᱨᱮᱭᱟᱜ ᱪᱷᱟᱯ ᱫᱚ ᱥᱮᱴ ᱵᱷᱮᱞ ᱠᱷᱚᱱ ᱠᱚᱢ ᱛᱟᱦᱮᱱ ᱠᱷᱟᱱ ᱢᱟᱨᱟᱝ ᱴᱨᱟᱱᱥᱤᱥᱚᱱ ᱪᱮᱢᱵᱚᱨ ᱫᱚ ᱟᱡ ᱛᱮ ᱵᱚᱱᱫᱚ ᱠᱟᱛᱮ ᱜᱞᱚᱵᱽ ᱵᱟᱠᱥᱟ ᱨᱮ ᱵᱷᱮᱠᱭᱩᱢ ᱱᱮᱜᱮᱴᱤᱵᱷ ᱪᱷᱟᱯ ᱠᱷᱚᱱ ᱵᱟᱝ ᱵᱟᱹᱲᱤᱡ ᱦᱩᱭᱩᱜ-ᱟ᱾
• ᱯᱷᱩᱴ ᱯᱮᱰᱟᱞ: ᱵᱟᱠᱥᱟ ᱦᱚᱲᱢᱚ ᱨᱮᱭᱟᱜ ᱪᱷᱟᱯ ᱠᱚᱵᱚᱡᱽ ᱢᱮ, ᱪᱷᱟᱯ ᱵᱟᱹᱨᱛᱤ ᱟᱨ ᱠᱚᱢ ᱞᱟᱹᱜᱤᱫ ᱥᱩᱵᱤᱫᱟ
• ᱠᱮᱢᱤᱠᱮᱞ ᱥᱚᱯᱷᱴᱣᱮᱭᱟᱨ ᱞᱮᱠᱷᱟ: ᱯᱤ ᱮᱞ ᱥᱤ ᱠᱮᱢᱤᱠᱮᱞ ᱥᱚᱯᱷᱴᱣᱮᱭᱟᱨ ᱞᱮᱠᱷᱟ ᱛᱮ ᱥᱟᱡᱟᱣ ᱢᱮᱱᱟᱜᱼᱟ, ᱡᱟᱦᱟᱸ ᱫᱚ ᱟᱱᱣᱤᱠ ᱚᱡᱚᱱ ᱞᱮᱠᱷᱟ, ᱠᱮᱢᱤᱠᱮᱞ ᱨᱮᱠᱥᱚᱱ ᱠᱮᱢᱤᱠᱟᱞ ᱰᱚᱡᱽ, ᱟᱨ ᱠᱮᱞᱠᱩᱞᱮᱴᱚᱨ ᱞᱮᱠᱟᱱ ᱠᱟᱹᱢᱤ ᱠᱚ ᱯᱩᱨᱟᱹᱣ ᱫᱟᱲᱮᱭᱟᱜᱼᱟ᱾
• ᱮᱴᱟᱜ ᱠᱟᱹᱢᱤᱠᱚ: ᱟᱯᱱᱟᱨ-ᱰᱟᱭᱜᱽᱱᱚᱥᱤᱥ, ᱯᱟᱣᱟᱨ-ᱵᱚᱸᱫ ᱟᱨ ᱟᱯᱱᱟᱨ-ᱮᱛᱚᱦᱚᱵ ᱜᱩᱱᱠᱚ ᱥᱟᱶᱛᱮ, ᱪᱟᱯ ᱠᱚᱵᱚᱡᱽ ᱟᱨ ᱟᱡᱞᱮᱠᱟᱱ ᱠᱟᱹᱢᱤᱠᱚ ᱥᱟᱶᱛᱮ; ᱟᱡ ᱛᱮ ᱪᱟᱞᱟᱜ ᱠᱚᱱᱴᱨᱚᱞ, ᱥᱟᱭᱠᱮᱞ ᱠᱚᱱᱴᱨᱚᱞ, ᱯᱟᱥᱣᱟᱨᱰ ᱨᱩᱠᱷᱤᱭᱟᱹ᱾

᱖) ᱩᱫᱩᱜ ᱥᱤᱥᱴᱚᱢ:
ᱥᱤᱢᱮᱱᱥ ᱯᱤ ᱮᱞ ᱥᱤ ᱴᱟᱪ ᱥᱠᱨᱤᱱ ᱥᱢᱟᱨᱴ ᱗᱐᱐ ᱫᱚ ᱚᱯᱟᱨᱮᱴᱤᱝ ᱥᱴᱮᱴᱟᱥ, ᱠᱮᱵᱤᱱᱮᱴ ᱯᱨᱮᱥᱟᱨ, ᱥᱤᱥᱴᱚᱢ ᱨᱮᱠᱚᱨᱰ ᱮᱢᱟᱱ ᱩᱫᱩᱜ ᱞᱟᱹᱜᱤᱫ ᱵᱮᱵᱷᱟᱨᱚᱜ ᱠᱟᱱᱟ᱾

᱗) ᱣᱮᱠᱭᱩᱢ ᱥᱤᱥᱴᱚᱢ ᱨᱮᱭᱟᱜ ᱠᱚᱱᱴᱨᱚᱞ
ᱵᱨᱤᱴᱤᱥ EDWARDS ᱣᱮᱠᱭᱩᱢ ᱯᱟᱢᱯ, ᱡᱟᱦᱟᱸ ᱫᱚ ᱢᱮᱱᱩᱣᱟᱞ ᱥᱮ PLC ᱦᱚᱛᱮᱛᱮ ᱮᱛᱚᱦᱚᱵ ᱫᱟᱲᱮᱭᱟᱜ-ᱟ, 12m3/h ᱯᱷᱞᱚ ᱨᱮ, ᱡᱟᱦᱟᱸ ᱫᱚ ᱴᱨᱟᱱᱥᱤᱥᱚᱱ ᱪᱮᱢᱵᱚᱨ ᱣᱮᱠᱭᱩᱢ ᱫᱟᱲᱮᱭᱟᱜ-ᱟ ᱟᱨ ᱴᱮᱸᱠ ᱨᱮᱭᱟᱜ ᱯᱨᱮᱥᱚᱨ ᱵᱮᱞᱟᱱ ᱫᱚᱦᱚ ᱫᱟᱲᱮᱭᱟᱜ-ᱟ᱾ ᱣᱮᱠᱭᱩᱢ ᱯᱟᱢᱯ ᱨᱮᱭᱟᱜ ᱢᱩᱪᱟᱹᱫ ᱣᱮᱠᱭᱩᱢ ᱒x᱑᱐-᱑pa ᱠᱷᱚᱱ ᱠᱚᱢ ᱥᱮ ᱵᱟᱨᱟᱵᱟᱨᱤ ᱜᱮᱭᱟ ᱾

᱘) ᱚᱠᱥᱤᱡᱮᱱ ᱥᱮᱱᱥᱟᱨ
ᱡᱚᱠᱷᱟ ᱯᱟᱥᱱᱟᱣ: ᱐-᱑᱐᱐᱐ppm
ᱤᱞᱮᱠᱴᱨᱚᱠᱮᱢᱤᱠᱟᱞ ᱥᱩᱱᱩᱢ ᱠᱚᱥᱴᱚ ᱚᱠᱥᱤᱡᱮᱱ ᱮᱱᱟᱞᱟᱭᱡᱟᱨ, ᱐.᱒ ᱯᱤᱯᱤᱮᱢ ᱨᱮᱭᱟᱜ ᱥᱩᱦᱤ, ᱥᱚᱞᱵᱷᱮᱱᱴ ᱥᱟᱶ ᱟᱱᱩᱠᱩᱞ, ᱟᱨ ᱧᱮᱞ ᱡᱚᱛᱚᱱ {{᱑}} ᱯᱷᱨᱤ
᱙) ᱢᱚᱭᱪᱚᱨ ᱥᱮᱱᱥᱟᱨ
ᱡᱚᱠᱷᱟ ᱯᱟᱥᱱᱟᱣ: ᱐-᱑᱐᱐᱐ppm
ᱱᱚᱣᱟ ᱨᱮ ᱟᱹᱰᱤ ᱜᱟᱱ ᱮᱯᱞᱤᱠᱮᱥᱚᱱ ᱢᱮᱱᱟᱜᱼᱟ, ᱠᱷᱟᱥ ᱠᱟᱭᱛᱮ ᱵᱮᱵᱷᱟᱨᱤᱭᱟᱹ ᱠᱚ ᱞᱟᱹᱜᱤᱫ ᱡᱮᱞᱠᱟ ᱞᱤᱛᱷᱤᱭᱚᱢ ᱵᱮᱴᱟᱨᱤ ᱵᱮᱱᱟᱣ ᱟᱨ ᱢᱮᱴᱟᱞ ᱚᱨᱜᱟᱱᱤᱠ
᱑᱐) ᱚᱨᱜᱟᱱᱤᱠ ᱥᱚᱞᱵᱷᱮᱱᱴ ᱮᱰᱡᱚᱨᱵᱟᱨ
ᱥᱟᱭᱤᱡᱽ: ᱵᱟᱠᱥᱚ ᱨᱮ ᱫᱚᱦᱚ ᱟᱠᱟᱱᱟ,
ᱜᱚᱲᱦᱚᱱ: ᱑᱐ᱠᱮᱜᱽᱨᱟᱢ ᱟᱱᱣᱤᱠ ᱪᱟᱞᱟ ᱛᱮ ᱯᱮᱨᱮᱡ, ᱩᱥᱟᱹᱨᱟ ᱜᱮ ᱡᱤᱱᱤᱥ ᱫᱚᱦᱲᱟ ᱡᱟᱱᱟᱢ ᱫᱟᱲᱮᱭᱟᱜᱼᱟ, ᱟᱨ ᱵᱟᱹᱲᱛᱤ ᱥᱟᱯᱷᱟ ᱦᱚᱭ ᱦᱤᱥᱤᱫ ᱵᱟᱭ ᱵᱟᱹᱲᱤᱡᱟ᱾
᱑᱑) ᱤᱱᱰᱟᱥᱴᱨᱤᱭᱟᱞ ᱮᱭᱟᱨ ᱠᱟᱱᱰᱤᱥᱚᱱᱟᱨ
ᱜᱞᱚᱵᱽ ᱵᱟᱠᱥᱟ ᱨᱮᱭᱟᱜ ᱪᱮᱛᱟᱱ ᱨᱮ ᱢᱤᱫ ᱤᱱᱰᱟᱥᱴᱨᱤᱭᱟᱞ ᱮᱭᱟᱨ ᱠᱟᱱᱰᱤᱥᱚᱱᱟᱨ ᱫᱚᱦᱚ ᱟᱠᱟᱱᱟ ᱾ ᱨᱮᱴ ᱨᱮᱯᱷᱨᱤᱡᱮᱥᱚᱱ ᱠᱮᱯᱟᱥᱤᱴᱤ ᱫᱚ ᱑᱐᱕᱐W; ᱞᱚᱞᱚ ᱵᱮᱵᱷᱟᱨ ᱯᱟᱥᱱᱟᱣ: ᱑᱕-᱓᱖ ᱰᱤᱜᱽᱨᱤ, ᱒᱒᱐V/᱕᱐Hz, ᱤᱱᱯᱩᱴ ᱯᱟᱣᱟᱨ:᱖᱕᱐W, ᱜᱚᱲᱦᱚᱱ: (L*W*H)᱕᱘᱐*᱕᱖᱐*᱔᱐᱐, ᱚᱡᱚᱱ: ᱔᱘kg᱾

ᱥᱤᱠᱟᱨ ᱢᱚᱱᱟᱫᱟᱱᱰᱚ:

ᱢᱟᱱᱚᱛ ᱥᱛᱤᱛᱤ ᱨᱮ, ᱢᱮᱱᱠᱷᱟᱱ 20 ᱰᱤᱜᱽᱨᱤ ᱨᱮᱭᱟᱜ ᱥᱩᱛᱨᱟᱹᱣ, ᱢᱟᱱᱚᱛ ᱫᱷᱟᱯ, 99.999% ᱨᱮᱭᱟᱜ ᱤᱱᱟᱨᱴ ᱜᱮᱥ ᱥᱚᱨᱥ, ᱟᱨ ᱠᱷᱟᱹᱞᱤ ᱵᱟᱠᱥᱟ ᱠᱟᱹᱢᱤ, ᱫᱟᱜ ᱟᱨ ᱚᱠᱥᱤᱡᱮᱱ ᱤᱱᱰᱮᱠᱥ 1 ppm ᱠᱷᱚᱱ ᱠᱚᱢ ᱜᱮᱭᱟ᱾

ᱮᱯᱞᱤᱠᱮᱥᱚᱱ ᱠᱮᱥ ᱠᱚ

ᱯᱟᱨᱴᱱᱟᱨ ᱠᱚᱢᱯᱟᱱᱤ